Harmonic Drive
Culture du Cristal Actionneur Double Gamme de Vitesse
Actionneur spécifique
Actionneur double gamme de vitesse
Les dernières générations de wafers 300mm, impliquent de nouvelles spécifications lors du process final dans lequel est effectuée la culture du monocristal de silice. Un germe de cristal est délicatement mis en contact avec la silice en fusion puis l'ensemble est étiré afin d'effectuer la culture du monocristal. La régularité de mouvement des actionneurs utilisés est essentielle pour la qualité du cristal et par conséquent pour celle du wafer.
Le germe de cristal est étiré de la silice en fusion à une vitesse de quelques centimètres par heure. Des actionneurs spécifiques à double gamme de vitesse sont utilisés pour la rotation du creuset contenant la silice et pour le déplacement linéaire du germe de cristal. Lors de la phase d'avance de l'étirement du cristal, la vitesse extrêmement lente est obtenue avec un rapport de réduction de 5000:1. Cette réduction est obtenue à l'aide d'un actionneur à passage central FHA associé à un réducteur de précision HDGM. De plus, la combinaison frein/embrayage permet à l'actionneur de travailler en vitesse rapide avec un rapport de réduction de 50:1 lors des phases de réglage de la machine.
Comme on peut le voir sur la représentation du système, le Circular Spline de l'HDGM n'est pas fixé, ce qui lui permet de tourner à l'intérieur du carter. En déplacement rapide, le Wave Generator et le Circular Spline de l'HDGM sont solidaires et tournent à la vitesse de sortie du FHA. Pendant la phase d'étirement, le Circular Spline est fixe et le Wave Generator est entraîné par l'arbre de sortie de l'actionneur FHA. Dans ce cas, les deux rapports de réduction sont solicités.
