Harmonic Drive
Dépose de Revêtement Table d'Indexage
Actionneur à passage central
Grâce à leurs caractéristiques de régularité de fonctionnement et à leur conception compacte, les actionneurs FHA sont utilisés dans une large gamme de systèmes liés à la fabrication des semi-conducteurs. Dans cette application, le FHA est utilisé pour l'entraînement d'une table d'indexage sur une machine de dépose de revêtement sur les wafers.
Une caractéristique intéressante de cette conception est la façon dont est utilisé le passage central avec un joint tournant permettant d'effectuer un passage de fluides au centre de l'actionneur. En sortie d'actionneur, des accouplements ferro-fluidiques sont utilisés pour séparer l'environnement normal de la chambre à vide où a lieu le process de revêtement.
