Harmonic Drive
Manipulation de Wafers Axes Primaires
Servoactionneur à passage central
Courroie acier
Spécification salle blanche
L'aspect unique de cette conception réside dans le fait que les actionneurs à passage central FHA utilisés pour le pilotage des axes primaires sont intégrés dans le pied du robot. Le premier axe qui pilote le segment supérieur du bras est entraîné par l'actionneur "supérieur".
Les capacité de charges du roulement de sortie de l'actionneur permettent de supporter tout le poids du bras. Le deuxième axe est piloté par l'actionneur "inférieur" via un arbre traversant le passage central de l'actionneur "supérieur". Le mouvement est transmis au coude par une courroie pré-contrainte en acier. Les actionneurs étant montés dans le pied du robot, cela permet de réduire considérablement le poids du bras permettant ainsi d'accroître les performances dynamiques de l'ensemble.
Tous les câbles sont intégrés à l'intérieur du bras ce qui permet d'utiliser le robot en salle blanche. L'axe de rotation du poignet est piloté par un mini servoactionneur série RS intégré dans le coude.
