Harmonic Drive
Beschichtungsmaschine Drehtisch-Antrieb
Hohlwellenantrieb
Die ruhigen Laufcharakteristiken und die kompakte Bauform machen den AC-Hohlwellenantrieb der Baureihe FHA zur idealen Lösung in zahlreichen Maschinen zur Herstellung von Halbleitern. Der FHA Antrieb treibt den Drehtisch einer Beschichtungsmaschine an, mit der eine dünne Schicht auf die Oberfläche von Silizium-Wafern aufgetragen wird.
Auffallend an dieser Bauweise ist die Methode, mit der die verschiedenen Versorgungsleitungen durch die Hohlwelle des Antriebs mittels einer Drehdurchführung gelenkt werden. Die Abtriebsseite des Antriebs ist mit ferro-fluidischen Kupplungen versehen, um die Vakuumkammer, in welcher der Beschichtungsprozess stattfindet, von der normalen Umgebung abzuschirmen.
