Harmonic Drive
Kristallziehanlage Schleich-Eilgang-Antrieb
Sonderantrieb
Schleich-Eilgang-Antrieb
Die neueste Generation der 300 mm Silizium-Wafer stellt besondere Ansprüche an Kristallziehanlagen. Für die Wafer werden zunächst Einkristalle von 300 mm Durchmesser gezogen. Hierbei wird ein ausgewählter Impfkristall vorsichtig mit der Schmelzoberfläche hochreinen Siliziums in Berührung gebracht und langsam kontrolliert herausgezogen.
An den Rändern des Kristalls wächst eine monokristalline Struktur heran. Die Gleichförmigkeit des Laufverhaltens ist dabei entscheidend für die Güte des Einkristalls. Der Impfkristall wird mit einer Geschwindigkeit von wenigen Zentimetern pro Stunde aus dem geschmolzenen Silizium herausgezogen. Die Drehbewegung des Tiegels wie auch die des Kristalls wird mit einem Schleich-Eilgang-Antrieb realisiert. Im Schleichgang während des Ziehvorgangs wird mit einer Gesamtuntersetzung von 5000:1 die extrem langsame Geschwindigkeit für das kontrollierte Kristallwachstum erreicht. Der Antrieb besteht aus einem AC-Hohlwellenantrieb der Baureihe FHA und einer Getriebebox der Baureihe HDGM.
Die innovative Kombination aus Bremse und Kupplung ermöglicht es, während der Einrichtung der Maschine das Getriebe im Eilgang mit einer Gesamtuntersetzung von 50:1 zu betreiben. Der Circular Spline der HDGM-Getriebebox ist nicht fixiert, sondern rotiert innerhalb des Gehäuses. Im Eilgang werden Circular Spline und Wave Generator gekoppelt und drehen mit der Abtriebsdrehzahl des FHA Antriebs. Im Schleichgang ist der Circular Spline fixiert und der Wave Generator wird vom Abtrieb des FHA Antriebs angetrieben. Dabei werden die Untersetzungsverhältnisse des FHA Antriebs und der HDGM Getriebebox multipliziert.
