Harmonic Drive
Wafer-Handling-Roboter Primärachsen Reinraum
Hohlwelle
Reinraum-Spezifikation
Es wird ein weiteres Beispiel dargestellt, wie die Antriebsmotoren der beiden Grundachsen einer Wafer-Handlingseinheit in das Grundgehäuse integriert werden. Im Schultergelenk befindet sich eine Unit der Baureihe HFUS-2UH mit antriebsseitiger Hohlwelle.
In die Hohlwelle ist eine Evolventenverzahnung eingearbeitet. Dadurch kann das Getriebe über eine Stirnradstufe angetrieben werden. Im Ellbogengelenk ist eine Unit der Baureihe HFUS-2UJ integriert. Hier erfolgt der Antrieb über einen Zahnriemen. Der Motor für dieses Gelenk wurde ebenfalls in der Grundachse des Roboters montiert. Aufgrund der hohen Steifigkeit können die Kreuzrollenlager beider Units das Gewicht des Roboters aufnehmen.
Der Vorteil dieser Antriebsanordnung liegt darin, dass die bewegten Massen im Roboterarm erheblich reduziert werden, weil der Motor des Ellbogengelenkes in der Grundachse des Roboters untergebracht werden kann.
