Harmonic Drive
Wafer-Handling-Roboter Primärachsen
Hohlwellenantrieb
Stahlbandantrieb
Reinraum-Spezifikation
Die Besonderheit dieses Anwendungsbeispieles besteht darin, dass der AC-Hohlwellenantrieb der Baureihe FHA als Antrieb für die Primärachse in die Grundachse des Roboters eingebaut wurde. Der Antrieb der ersten Achse, d. h. vom oberen Armsegment, erfolgt über den oberen Hohlwellenantrieb.
Das hoch belastbare Abtriebslager dieses Antriebes kann das gesamte Gewicht des Roboterarms aufnehmen. Die zweite Achse wird vom unteren Antrieb über eine Welle, die durch die Hohlwelle des oberen Antriebs geführt wird, angetrieben. Die Verbindung zum Knickarmgelenk wird durch ein vorgespanntes Stahlband hergestellt.
Der Vorteil dieser Lösung liegt darin, dass durch Integration beider Antriebe in die Grundachse des Roboters die Masse des Arms reduziert und die Dynamik des Roboters erhöht wird. Die Kabel werden in den Roboterarm geleitet, wodurch sich das gesamte System auch für den Einsatz in Reinraumumgebung eignet.
Als Antrieb für die rotierende Handachse wird ein Servoantrieb der Baureihe RS eingesetzt. Erwähnt werden sollte auch der Einbau des Mini-Servoantriebs im Knickarmgelenk des Roboterarms.
