Harmonic Drive
Macchina Patinatrice Movimento Tavola Rotante
Attuatore con albero cavo
Grazie alla estrema regolarità nel movimento ed alle dimensioni compatte, i servoattuatori con albero cavo serie FHA sono applicati su una gran varietà di macchine impiegate nella produzione di semiconduttori. Questo esempio progettuale mostra come il servoattuatore FHA sia stato utilizzato per movimentare una tavola rotante su una macchina patinatrice che applica un rivestimento sottile sulla superficie di un wafer di silicio.
La caratteristica più interessante di questo progetto è il modo in cui i vari servizi vengono fatti passare attraverso l'albero cavo centrale dell'attuatore per mezzo di un tubo rotante. Sull'uscita dell'attuatore sono impiegati dei calettatori speciali per separare la camera del vuoto, dove avviene il processo di rivestimento, dall'ambiente normale.
