Harmonic Drive
Macchina tira-cristallo Attuatore a doppia velocità
Attuatore Speciale
Attuatore a doppia velocità
Per realizzare l'ultima generazione di wafers di silicio da 300mm, sono arrivate delle richieste speciali per le macchine utilizzate per accrescere il silicio monocristallino, da cui vengono ottenuti. Un seme di cristallo viene portato delicatamente a contatto con la superficie del silicio fuso e, successivamente allontanato con cura, dando origine alla crescita del monocristallo. Il movimento regolare dell'attuatore che effettua questo movimento è essenziale per la qualità del cristallo e di conseguenza per la qualità del wafer ottenuto.
Il seme cristallino è allontanato dal crogiolo alla velocità di pochi centimetri all'ora. Degli attuatori speciali a due velocità sono usati sia per il movimento rotatorio del crogiolo contenente il silicio fuso, che per il movimento lineare del seme. Durante la formazione del cristallo, la bassissima velocità è ricavata con un rapporto di riduzione totale di 5000:1. Questo si ottiene accoppiando un servoattuatore con albero cavo FHA ad un riduttore di precisione HDGM.
L'innovativo impiego simultaneo di freno e frizione ha reso possibile azionare il sistema in avanzamento veloce con un rapporto di 50:1 durante l'azzeramento della macchina. Come si può osservare dal disegno, il Circular Spline del HDGM non è fissato, ma è libero di ruotare all'interno della carcassa. In modalità veloce, il Circular Spline ed il Wave Generator del HDGM sono bloccati insieme e ruotano alla stessa velocità d'uscita dell'attuatore FHA. Nella modalità di formazione del cristallo, il Circular Spline è fermo ed il Wave Generator viene mosso dall'uscita dell'attuatore. In questo modo vengono moltiplicati tra di loro i due rapporti di riduzione.
