Harmonic Drive
Robot manipolatore del Wafer Assi Primari
Servoattuatore con albero cavo
Movimento cinghia d'acciaio
Specifico per ambiente sterile
L'aspetto più interessante di questo progetto è che gli attuatori con albero cavo FHA, usati per muovere gli assi primari, sono annegati all'interno della base del robot. Il primo asse, che muove il tratto superiore del braccio, è azionato dall'attuatore superiore. Il cuscinetto d'uscita ad alta capacità di questo attuatore può sopportare tutto il peso del braccio del robot. Il secondo asse è azionato dall'attuatore inferiore tramite un albero passanteattraverso il foro centrale dell'attuatore superiore.
Quest'albero è collegato al gomito tramite una cinghia d'acciaio. Il vantaggio di questa soluzione risiede nel fatto che, integrando entrambi gli attuatori nella base del robot, l'intera massa del braccio si riduce, aumentando così le prestazioni dinamiche del robot. I cavi passano attraverso il braccio, il che permette di applicare l'intero sistema in condizioni di ambiente sterile. L'asse polso è movimentato da un mini servoattuatore serie RS. Un'ulteriore caratteristica interessante di questo progetto è che il mini servoattuatore è incorporato all'interno dell'attaccatura del gomito, come si vede dal disegno.
