Impianti per la produzione dei SemiconduttoriHarmonic Drive

Dispositivo di carico del Wafer Assi Primari

Albero cavo
Specifico per ambiente sterile

Questo esempio progettuale mostra un altro modo di integrare i motori degli assi primari di un robot per il carico dei wafer, all'interno della base del dispositivo. Il fulcro della spalla presenta un riduttore HFUS-2UH con albero d'ingresso cavo. Si tratta di un riduttore speciale, in quanto possiede una dentatura ricavata lavorando l'albero d'ingresso.

Questo consente di muovere il riduttore accoppiandogli direttamente uno stadio ad ingranaggi. Sul giunto del gomito troviamo un riduttore HFUS-2UJ con albero in ingresso. Questo riduttore viene movimentato tramite una cinghia dentata. Anche il motore di quest'asse è montato nella base del robot. Il moto è trasmesso per mezzo di un albero passante attraverso il foro centrale del riduttore dell'asse spalla.

Il peso dell'intero braccio è sostenuto dai cuscinetti a rilli incrociati integrati nei due riduttori. Questa soluzione ha il pregio di ridurre la massa del braccio spostando il motore del gomito all'interno della base del robot.

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