Harmonic Drive
Accionamiento de la mesa de rotación para máquina de revestimiento
Servoactuador de eje hueco
Los servoactuadores de eje hueco serie FHA se utilizan en gran variedad de máquinas para la fabricación de semi-conductores debido a la suavidad de su funcionamiento y compacto diseñó. Este ejemplo muestra cómo se usa el servoactuador FHA para accionar una mesa giratoria en una máquina de revestimiento que aplica una fina capa de recubrimientosobre la superficie de los discos de silicio.
Una característica interesante de este diseño es la manera de utilizar el eje central del actuador para pasar varios servicios mediante una junta rotativa. A la salida del actuador los acoplamientos ferro-fluidos se utilizan para separar la cámara de vacío del ambiente normal donde tiene lugar el proceso de revestimiento.
