Harmonic Drive
Actuador de dos velocidades en máquina para trabajar el cristal
Actuador especial
Actuador de dos velocidades
La última generación de discos de silicio de 300mm demanda nuevas aplicaciones para el trabajo del monocristal de silicio. Se pone cuidadosamente en contacto una muestra de cristal con la superficie del silicio fundido para poder ser estirado y obtener como resultado el mono-cristal.
La suavidad del movimiento de los actuadores utilizados es esencial para la calidad del cristal y, en consecuencia, para la de los discos. La muestra de cristal se estira en el silicio fundido a una velocidad de centímetros por hora. Se utilizan actuadores especiales de dos velocidades para la rotación del crisol que contiene el silicio fundido y también para el movimiento lineal del cristal.
Durante la fase de estiramiento del cristal se consigue una velocidad extremadamente lenta mediante un ratio de reducción 5000:1 proporcionado por un servoactuador de eje hueco FHA combinado con un reductor de precisión serie HDGM.
La innovadora combinación de freno y embrague permite trabajar al actuador a gran velocidad con un ratio de 50:1 durante la fase de reglaje de la máquina. Como se puede observar en el ejemplo, el Circular Spline del HDGM no está fijado lo que le permite rotar dentro del alojamiento. En modo rápido el Circular Spline y Wave Generator del HDGM son fijado conjuntamente y rotan solidarios a la velocidad de salida del servoactuador FHA. En la fase de estiramiento el Circular Spline es fijado y el Wave Generator se acciona por la salida del servoactuador FHA. De esta manera los ratios de ambos reductores se multiplican de manera conjunta.
